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发明名称
摘要
申请公布号
JP4689977(B2)
申请公布日期
2011.06.01
申请号
JP20040179762
申请日期
2004.06.17
申请人
发明人
分类号
H01L29/78;H01L29/40;H01L29/417;H01L29/423
主分类号
H01L29/78
代理机构
代理人
主权项
地址
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