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发明名称 Non-thermal process for forming porous low dielectric constant films
摘要
申请公布号 EP2306499(A3) 申请公布日期 2011.06.01
申请号 EP20110151731 申请日期 2003.11.10
申请人 AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC. 发明人 LUKAS, AARON SCOTT;BITNER, MARK DANIEL;VRTIS, RAYMOND NICHOLAS;O'NEILL, MARK LEONARD;VINCENT, JEAN LOUISE;KARWACKI, JR., EUGENE JOSEPH
分类号 H01L21/316;C23C16/40;C23C16/56 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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