| 发明名称 |
METHOD FOR PRODUCTION OF METAL OXIDE FILM, AND APPARATUS FOR PRODUCTION OF METAL OXIDE FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR20110056522(A) |
申请公布日期 |
2011.05.30 |
| 申请号 |
KR20117006547 |
申请日期 |
2008.09.24 |
| 申请人 |
TOSHIBA MITSUBISHI-ELECTRIC INDUSTRIAL SYSTEMS CORPORATION |
发明人 |
ORITA HIROYUKI;YOSHIDA AKIO;KOGURA MASAHISA;SHIRAHATA TAKAHIRO;TANAKA SYUJI |
| 分类号 |
C23C16/40;C23C16/44;C23C16/46;C23C16/50 |
主分类号 |
C23C16/40 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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