发明名称
摘要 The present invention relates to a device for contacting a wafer during submersion in a liquid. The device comprises a main body fixed to a transportation device; an electrical contact for contacting the wafer and a pressure element for pressing the electrical contact towards the wafer.
申请公布号 JP2011516733(A) 申请公布日期 2011.05.26
申请号 JP20110503929 申请日期 2009.03.31
申请人 发明人
分类号 C25D17/08;B65G49/02 主分类号 C25D17/08
代理机构 代理人
主权项
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