发明名称 一种多线切割机砂浆喷流装置
摘要 一种多线切割机砂浆喷流装置,用于多线切割机批量切割半导体硅片或太阳能硅电池片;它的外套管(1)中固定安装有一端为砂浆入口而另一端封闭的内管(2),内管(2)外壁与外套管(1)内壁之间有环隙(6),内管(2)上部开有沿内管轴线均布的多个小圆孔(7),所述小圆孔(7)连通内管管腔与所述环隙;外套管(1)的下侧沿轴线开有狭缝开口槽(8)。该装置的结构特点和砂浆在装置内流向经多次改变,可提高砂浆流量、密度分布的均匀性,提高了设备的切割生产效率和改善切割硅片的表面质量。
申请公布号 CN201841613U 申请公布日期 2011.05.25
申请号 CN201020548069.5 申请日期 2010.09.29
申请人 中国电子科技集团公司第四十八研究所 发明人 刘咸成;吕文利;刘嘉宾;贾京英;龚杰洪
分类号 B28D7/00(2006.01)I;B28D5/04(2006.01)I 主分类号 B28D7/00(2006.01)I
代理机构 长沙正奇专利事务所有限责任公司 43113 代理人 马强
主权项 一种多线切割机砂浆喷流装置,有外套管(1),其特征是,该外套管(1)中固定安装有一端为砂浆入口而另一端封闭的内管(2),内管(2)外壁与外套管(1)内壁之间有环隙(6),内管(2)上部开有沿内管轴线均布的多个小圆孔(7),所述小圆孔(7)连通内管管腔与所述环隙;外套管(1)的下侧沿轴线开有狭缝开口槽(8)。
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