发明名称 |
一种多线切割机砂浆喷流装置 |
摘要 |
一种多线切割机砂浆喷流装置,用于多线切割机批量切割半导体硅片或太阳能硅电池片;它的外套管(1)中固定安装有一端为砂浆入口而另一端封闭的内管(2),内管(2)外壁与外套管(1)内壁之间有环隙(6),内管(2)上部开有沿内管轴线均布的多个小圆孔(7),所述小圆孔(7)连通内管管腔与所述环隙;外套管(1)的下侧沿轴线开有狭缝开口槽(8)。该装置的结构特点和砂浆在装置内流向经多次改变,可提高砂浆流量、密度分布的均匀性,提高了设备的切割生产效率和改善切割硅片的表面质量。 |
申请公布号 |
CN201841613U |
申请公布日期 |
2011.05.25 |
申请号 |
CN201020548069.5 |
申请日期 |
2010.09.29 |
申请人 |
中国电子科技集团公司第四十八研究所 |
发明人 |
刘咸成;吕文利;刘嘉宾;贾京英;龚杰洪 |
分类号 |
B28D7/00(2006.01)I;B28D5/04(2006.01)I |
主分类号 |
B28D7/00(2006.01)I |
代理机构 |
长沙正奇专利事务所有限责任公司 43113 |
代理人 |
马强 |
主权项 |
一种多线切割机砂浆喷流装置,有外套管(1),其特征是,该外套管(1)中固定安装有一端为砂浆入口而另一端封闭的内管(2),内管(2)外壁与外套管(1)内壁之间有环隙(6),内管(2)上部开有沿内管轴线均布的多个小圆孔(7),所述小圆孔(7)连通内管管腔与所述环隙;外套管(1)的下侧沿轴线开有狭缝开口槽(8)。 |
地址 |
410111 湖南省长沙市天心区新开铺路1025号 |