发明名称 具有伸缩近端转动件的太阳能晶圆移转装置
摘要 本实用新型公开了一种太阳能晶圆移转装置,属于太阳能领域。该太阳能晶圆移转装置利用一组可受致动伸缩的转动件,由一个具有铅直方向分量的倾斜角度带动承载件运转,使得当要输送太阳能晶圆进出晶圆片匣时,对应晶圆片匣的近端转动件可以迅速伸入片匣进行输送,并在片匣满载或清空时,驱动近端转动件迅速缩回,避免干扰片匣的移动,一方面确保片匣中预留而无法使用的操作空间不需过大,另方面各转动件的角度可维持固定,使得机台造价降低,也避免更换片匣时浪费过多时间,因此大幅改良现有技术。
申请公布号 CN201845750U 申请公布日期 2011.05.25
申请号 CN201020295664.2 申请日期 2010.08.18
申请人 致茂电子(苏州)有限公司 发明人 黄祥豪
分类号 H01L21/677(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I 主分类号 H01L21/677(2006.01)I
代理机构 北京三高永信知识产权代理有限责任公司 11138 代理人 江崇玉
主权项 一种太阳能晶圆移转装置,其特征在于,包括一个用来将太阳能晶圆移转进出形成有一晶圆片出入口的晶圆片匣,且该晶圆片匣对应该出入口的两侧壁上形成有多个凸缘,用于太阳能晶圆置放,该凸缘中的最下一个与该出入口底部间形成有一个间距,且该太阳能晶圆移转装置包含:两组承载件;两组分别对应于该二承载件、且用于该二承载件环绕而设定其绕行路径并与该二承载件同步转动的转动组件,且各转动组件分别包括一个用于对应该晶圆片匣出入口,并在一个用于伸入该晶圆片匣出入口的取放位置与一个脱离该晶圆片匣的启始位置间移动的近端转动件、一个远离该近端转动件的远程转动件、以及两个分别对应各近端转动件的从动转动件;及一组驱动该近端转动件在该取放位置与该启始位置间移动的驱动件。
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