发明名称 Quelle für thermische PVD-Beschichtung für organische elektrolumineszente Schichten
摘要
申请公布号 DE60144355(D1) 申请公布日期 2011.05.19
申请号 DE20016044355 申请日期 2001.02.19
申请人 GLOBAL OLED TECHNOLOGY LLC 发明人 SPAHN, ROBERT G.
分类号 C23C14/24;H05B33/10;C23C14/12;H01L51/00;H01L51/50 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
主权项
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