发明名称 电阻温度系数测量方法
摘要 本发明公开一种电阻温度系数测量方法,包括:用电流I对待测电阻R加热,记录加热过程中电阻阻值R随电流I的变化;利用电阻R和电流I查询一第二表格,确定一与电阻R有关的第一变量I<sup>2</sup>R;查找一第一表格,确定第一变量I<sup>2</sup>R与温度T的关系;以及查询一预定的数据库,确定电阻温度系数TCR。该预定数据库利用公式<img file="200710042392.8_ab_0.GIF" wi="334" he="54" />求出电阻温度系数TCR(T)。本发明只需使用一次热盘加热测得电阻的R~T曲线,此后就可利用电流快速加热同种结构的电阻(包括同一电阻)而获得R~I曲线,进而求出电阻的TCR,因此可省去每次热盘加热耗费的时间。
申请公布号 CN101329295B 申请公布日期 2011.05.18
申请号 CN200710042392.8 申请日期 2007.06.22
申请人 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 发明人 周柯;范伟海;朱月芹
分类号 G01N27/14(2006.01)I 主分类号 G01N27/14(2006.01)I
代理机构 上海专利商标事务所有限公司 31100 代理人 陈亮
主权项 一种电阻温度系数测量方法,其特征在于包括:用电流I对待测电阻R加热,记录加热过程中电阻阻值R随电流I的变化;利用电阻R和电流I查询一第二表格,确定一与电阻R有关的第一变量I2R;查找一第一表格,确定第一变量I2R与温度T的关系;以及查询一预定的数据库,确定电阻温度系数TCR,其中,通过测量与所述待测电阻同种结构的电阻的第一变量I2R与温度T的关系,来建立所述第一表格,并且在所述预定的数据库中,是利用公式: <mrow> <mi>TCR</mi> <mrow> <mo>(</mo> <mi>T</mi> <mo>)</mo> </mrow> <mo>=</mo> <mfrac> <mi>dR</mi> <mi>dT</mi> </mfrac> <mo>*</mo> <mfrac> <mn>1</mn> <mi>R</mi> </mfrac> <mo>=</mo> <mfrac> <mi>dR</mi> <mrow> <mi>d</mi> <mrow> <mo>(</mo> <msup> <mi>I</mi> <mn>2</mn> </msup> <mi>R</mi> <mo>)</mo> </mrow> </mrow> </mfrac> <mo>*</mo> <mfrac> <mrow> <mi>d</mi> <mrow> <mo>(</mo> <msup> <mi>I</mi> <mn>2</mn> </msup> <mi>R</mi> <mo>)</mo> </mrow> </mrow> <mi>dT</mi> </mfrac> <mo>*</mo> <mfrac> <mn>1</mn> <mi>R</mi> </mfrac> </mrow>来计算TCR。
地址 201203 上海市浦东新区张江路18号