探针卡校正设备

摘要

本发明为一种探针卡校正设备，其中，移动平台可通过基座上的第一导引装置以滑移于显微装置、及高度量测装置二处的下方，探针卡则夹固于移动平台上。本发明可先利用显微装置与比对装置以对移动平台上的探针卡先进行纵向、及横向的校正与调针工作；继而，将移动平台沿着第一导引装置移动至高度量测装置下方，再以高度量测器对探针卡继续进行高度量测，更可以控制器纪录每一探针的高度，如此周而复始，调针人员便可精准、方便、迅速地于同一调针机台完成探针卡校正工作。

主权项

一种探针卡校正设备，包括：一基座，包括有一第一导引装置，该第一导引装置包括有一第一端、及一第二端；一移动平台，包括有一第二导引装置、及一旋转载台，该移动平台通过该第二导引装置对应滑设于该基座的该第一导引装置上、并相对滑移于该第一端与第二端之间，该旋转载台组设于移动平台上并能相对旋转，该旋转载台上设置有至少一夹具；一比对装置，组设于该基座上并邻近该第一导引装置的该第一端，该比对装置包括有一比对罩，该比对罩选择式地移行于一调针侧与一准备侧之间，该比对罩包括有一透明片，该透明片上包括有一比对区，该比对区内标记有至少一比对记号；一显微装置，包括有一支架、一滑动块、一低倍显微镜、及一影像撷取器，该支架固设于该基座上并跨架于该第一导引装置的该第一端上方，该滑动块滑设于该支架上，该低倍显微镜及该影像撷取器分别组设于该滑动块上；以及一高度量测装置，包括有一固定架、一移动块、及一高度量测器，该固定架固设于该基座上并跨架于该第一导引装置的该第二端上方，该移动块滑设于该固定架上，该高度量测器组设于该移动块上。