| 发明名称 | 互连结构失效分析样品的制作方法 | ||
| 摘要 | 一种互连结构失效分析样品的制作方法，包括：对样品横截面进行物理溅射工艺；通过电子显微镜对所述样品进行测试。本发明有利于失效分析对工艺参数的准确表征。 | ||
| 申请公布号 | CN102053169A | 申请公布日期 | 2011.05.11 |
| 申请号 | CN200910198593.6 | 申请日期 | 2009.11.10 |
| 申请人 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 发明人 | 史燕萍;虞勤琴;朱敏;李颖华 |
| 分类号 | G01Q30/20(2010.01)I | 主分类号 | G01Q30/20(2010.01)I |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人 | 李丽 |
| 主权项 | 一种互连结构失效分析样品的制作方法，包括：对样品横截面进行物理溅射工艺；通过电子显微镜对所述样品进行测试。 | ||
| 地址 | 201203 上海市浦东新区张江路18号 | ||