发明名称 METHOD FOR MANUFACTURING ISOLATION FILM OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR101033983(B1) 申请公布日期 2011.05.11
申请号 KR20040033572 申请日期 2004.05.12
申请人 发明人
分类号 H01L21/76 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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