照明光学装置

摘要

本发明的目的是提供一种适合在构成电子元件的微细图案的形成中所使用的曝光方法，并为高解析度且廉价的曝光方法。该曝光方法包括：配置邻接于构成电子元件的晶圆等的绕射光栅，并对该绕射光栅照射具有设定的入射角度特性的照明光而进行对晶圆的曝光。依据需要，变更半导体晶圆和该绕射光栅的位置关系，以进行上述曝光。

主权项

一种照明光学装置，为一种用于使来自光源的照明光对设定的被照射平面进行照射的照明光学装置，其特征在于：将前述被照射平面的任意一点上所照射的前述照明光的主成分形成为：含有前述被照射面内的特定一方向，即Y方向，且在含有前述一点的至少1个特定平面内具有行进方向，且成为前述行进方向彼此不平行的多个照明光。