发明名称 热声扬声器
摘要 一种热声扬声器,包括加热片(10)和多个支架条(8),所述支架条支撑加热片远离衬底(2)。所述加热片具有与每一个腔体相邻的至少一个开口(12)。在制造期间,将所述开口(12)用于刻蚀掉加热片下面的层(2、4、80)的材料。加热片下面的层可以是例如光致抗蚀剂或二氧化硅牺牲层。
申请公布号 CN102056066A 申请公布日期 2011.05.11
申请号 CN201010535037.6 申请日期 2010.11.01
申请人 NXP股份有限公司 发明人 约瑟夫·卢策
分类号 H04R23/00(2006.01)I;H04R31/00(2006.01)I 主分类号 H04R23/00(2006.01)I
代理机构 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人 王波波
主权项 一种热声扬声器,包括:衬底(2);加热片(10);以及多个支架条(8),支撑加热片(10)远离所述衬底(2),所述支架条(8)限定了支架条之间的至少一个腔体(14);其中所述加热片具有与每一个腔体相邻的至少一个开口(12)。
地址 荷兰艾恩德霍芬