发明名称 | 热声扬声器 | ||
摘要 | 一种热声扬声器,包括加热片(10)和多个支架条(8),所述支架条支撑加热片远离衬底(2)。所述加热片具有与每一个腔体相邻的至少一个开口(12)。在制造期间,将所述开口(12)用于刻蚀掉加热片下面的层(2、4、80)的材料。加热片下面的层可以是例如光致抗蚀剂或二氧化硅牺牲层。 | ||
申请公布号 | CN102056066A | 申请公布日期 | 2011.05.11 |
申请号 | CN201010535037.6 | 申请日期 | 2010.11.01 |
申请人 | NXP股份有限公司 | 发明人 | 约瑟夫·卢策 |
分类号 | H04R23/00(2006.01)I;H04R31/00(2006.01)I | 主分类号 | H04R23/00(2006.01)I |
代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人 | 王波波 |
主权项 | 一种热声扬声器,包括:衬底(2);加热片(10);以及多个支架条(8),支撑加热片(10)远离所述衬底(2),所述支架条(8)限定了支架条之间的至少一个腔体(14);其中所述加热片具有与每一个腔体相邻的至少一个开口(12)。 | ||
地址 | 荷兰艾恩德霍芬 |