光刻装置和器件制造方法

摘要

构造成可干燥浸入式光刻装置中的表面的气刀被优化设计，以便通过保证在被干燥的表面上的液体膜中建立压力剃度来去除液体。

主权项

一种光刻投影装置，所述光刻投影装置设置成可通过液体将图案从图案形成装置投射到衬底上，所述光刻投影装置包括：构造成可相对于待干燥的表面在70°至85°之间的角度下将气体提供到所述表面上的气刀；抽取器，所述抽取器与所述气刀相邻设置，用于去除气体、液体或者这两者；和构造成可控制通过一抽取器的气体抽取速率和通过所述气刀的气体出口以便实现所述角度的调节器。