生产多晶硅的方法

摘要

一种生产多晶硅的方法，用工业硅和氯化氢反应生成三氯氢硅；将三氯氢硅经提纯后与氢气反应生成多晶硅；收集主要包括氢气、氯化氢、二氯二氢硅、三氯氢硅和四氯化硅的尾气；加压和冷却尾气，气液分离氢气、氯化氢、和二氯二氢硅与液态的三氯氢硅和四氯化硅；用液态的四氯化硅对氢气、氯化氢、和二氯二氢硅进行淋洗，从而除去氯化氢、固体杂质以及高氯硅烷等杂质；通过液态的吸收剂，分离氢气与氯化氢和二氯二氢硅；通过升温将氯化氢和二氯二氢硅从液态吸收剂中解吸出来；通过控制压力和/或温度分离氯化氢与二氯二氢硅；和通过控制温度和/或压力将三氯氢硅与四氯化硅分离。本发明的方法能够回收和利用尾气，提高了产量和效率。

主权项

一种生产多晶硅的方法，包括以下步骤：以工业硅和氯化氢为原料，反应生成三氯氢硅；将所述三氯氢硅经提纯后与氢气反应，从而还原生成多晶硅；收集生成三氯氢硅、提纯三氯氢硅和生成多晶硅过程产生的尾气，其中所述尾气主要包括氢气、氯化氢、和氯硅烷，所述氯硅烷主要包括二氯二氢硅、三氯氢硅和四氯化硅；加压和冷却所述尾气，以便使所述三氯氢硅和四氯化硅变为液态而所述氢气、氯化氢、二氯二氢硅保持为气态，从而通过气液分离将气态的氢气、氯化氢、和二氯二氢硅与液态的三氯氢硅和四氯化硅分离；用液态的四氯化硅对气态的氢气、氯化氢、和二氯二氢硅进行淋洗，从而除去尾气中的氯化氢、固体杂质以及高氯硅烷，并对在淋洗过程中吸收了氯化氢的液态四氯化硅进行升温，使得氯化氢从液态四氯化硅解吸出来；使气态的氢气、氯化氢、和二氯二氢硅通过液态的吸收剂，以便使氯化氢和二氯二氢硅溶解于液态的吸收剂中，从而将氢气与氯化氢和二氯二氢硅分离，由此回收氢气；对溶解了氯化氢和二氯二氢硅的吸收剂进行升温，使氯化氢和二氯二氢硅从液态吸收剂中解吸出来；通过控制从液态吸收剂解吸出来的气态的氯化氢和二氯二氢硅的压力和/或温度使二氯二氢硅变为液态而氯化氢保持为气态，从而分离并分别回收氯化氢与二氯二氢硅，其中所述吸收剂为四氯化硅；和通过控制液态的三氯氢硅和四氯化硅的温度和/或压力，使三氯氢硅变为气态而四氯化硅保持为液态，从而通过气液分离将三氯氢硅与四氯化硅分离，由此分别回收三氯氢硅和四氯化硅。