二氧化硅玻璃坩埚的制造装置以及制造方法

摘要

本发明提供二氧化硅玻璃坩埚的制造装置以及制造方法，可以进行正确的烟尘产生量的测量，从而能防止内表面的特性的降低，同时也能实时地进行原料熔融状态的控制。上述装置用于制造二氧化硅玻璃坩埚50，即，将二氧化硅粉放入模具10内并形成二氧化硅粉层，对该二氧化硅粉层11进行电弧放电将其加热熔化，以此制造二氧化硅玻璃坩埚50，该装置包括：规定二氧化硅玻璃坩埚的外形的模具10；具备多个碳电极13以及电力供给单元40的电弧放电单元；检测在模具10内产生的烟尘80的量的烟尘量测量部30。

主权项

一种二氧化硅玻璃坩埚的制造装置，是将二氧化硅粉放入模具内并形成二氧化硅粉层，对该二氧化硅粉层进行电弧放电将其加热熔化的，制造二氧化硅玻璃坩埚的装置，其特征在于包括：规定二氧化硅玻璃坩埚的外形的模具；具备多个电极以及电力供给单元的电弧放电单元；检测在上述模具内产生的烟尘的量的烟尘量测量部。