用于使适量的导电材料悬浮的设备和方法

摘要

本发明涉及用于使适量的导电材料悬浮的一种设备，该设备包括线圈，用于使用线圈中变化电流来使材料保持悬浮。根据本发明，设备包括：两个线圈、第一线圈和第二线圈，在使用期间两个线圈都产生交变电磁场，第一和第二线圈的交变电场互相抵抗，其中把第一和第二线圈配置成使在第一线圈和第二线圈之间处于悬浮状态的导电材料蒸发。本发明也涉及用于形成适量的悬浮导电材料的方法。

主权项

一种用于使适量的导电材料悬浮的设备，包括两个线圈，即第一线圈和第二线圈，该设备使用在线圈中变化的电流来使材料保持悬浮，其特征在于两个线圈都放在使用期间至少10‑3mbar真空度的真空室内，两个线圈在使用期间都产生交变电磁场，第一和第二线圈的交变电磁场互相抵抗，其中所述两个线圈是能同时转动和/或移动的，以便改变线圈中心线，而且其中非导电材料管道设置在所述两个线圈内以致管道在使用期间存在于所述两个线圈和导电材料之间，并且其中第一和第二线圈配置成使在第一线圈和第二线圈之间保持悬浮的导电材料蒸发并且所蒸发的材料沿着线圈中心线的方向在非导电材料管道里面流到要覆盖的衬底上。