一种制备高纯铜的装置与方法

摘要

本发明公开了一种制备高纯铜的装置与方法，属于新材料制备技术领域。本发明制备高纯铜的装置包括电子束熔炼装置、电磁净化装置和半连续定向凝固铸锭装置。电子束熔炼、电磁净化和半连续定向凝固之间无缝连接，提高精炼效率。制备时，首先将阴极铜清洗后，去除暴露表面的主要杂质元素；然后经由电子束熔炼、电磁净化和直接定向凝固去除杂质；最后获得具有均匀柱状凝固组织的高纯铜铸锭。本发明所涉及的方法，具有工艺稳定、成本低廉、无污染、设备操作方便等优点，所制备的高纯铜铸锭组织均匀、无裂纹、无气孔，适用于制备溅射靶材、集成电路等部件材料。

主权项

一种制备高纯铜的装置，该装置包括电子束熔炼装置、电磁净化装置和半连续定向凝固铸锭装置，其特征在于：电子束熔炼装置包括电子枪(1)、视频观察装置(2)和进料机构(4)；电子枪产生高能量密度电子束轰击铜料直至熔化；视频观察装置实时观察并记录铜锭和坩埚内的熔炼状况；进料机构(4)将铜锭(3)悬空夹持，并按预定速度进料，夹持头大小可调，能够夹持多个铸锭；电磁净化装置的电磁精炼炉(5)内安放有高纯石墨坩埚(6)，熔化后的铜液落入高纯石墨坩埚内进行电磁净化精炼和定向凝固；电子束熔炼装置、电磁净化装置和半连续定向凝固装置之间无缝连接。