微激光束精密加工光学装置

摘要

微激光束精密加工光学装置，涉及一种精密加工装置。提供一种具有可见光同轴定位指示，可方便地实现无衍射光束与喷嘴微孔直接耦合，用于激光精密加工的微激光束精密加工光学装置。设有激光器、可见光光源、平面镜、扩束准直器、旋转三棱镜、光学窗口、压力流体腔和喷嘴微孔。平面镜位于激光器及可见光光源前方，激光器发射的激光束与可见光光源的光束经平面镜耦合，扩束准直器位于平面镜前方，旋转三棱镜位于扩束准直器前方，压力流体腔位于旋转三棱镜前方，光学窗口设于压力流体腔顶部，喷嘴微孔设于压力流体腔底部，经平面镜耦合后的光束与扩束准直器、旋转三棱镜、光学窗口及喷嘴微孔同轴。

主权项

微激光束精密加工光学装置，其特征在于设有激光器、可见光光源、平面镜、扩束准直器、旋转三棱镜、光学窗口、压力流体腔和喷嘴微孔；平面镜位于激光器及可见光光源前方，激光器发射的激光束与可见光光源的光束经平面镜耦合，扩束准直器位于平面镜前方，旋转三棱镜位于扩束准直器前方，压力流体腔位于旋转三棱镜前方，光学窗口设于压力流体腔顶部，喷嘴微孔设于压力流体腔底部，经平面镜耦合后的光束与扩束准直器、旋转三棱镜、光学窗口及喷嘴微孔同轴；压力流体腔中流体采用纯净水。