短弧型放电灯

摘要

提供一种短弧型放电灯，其放射照度维持率高、维持放射亮度，累计放射量多，提高曝光装置的生产性。该灯在发光管(11)内配置阳极(3)及阴极(2)，阳极在阳极前端面(3D)阳极中心轴(L)形成凹部(30)，凹部具有形成于圆周方向的阳极内壁面(30A)、相对阳极中心轴向径向扩展而平坦形成的阳极内底面(30B)、在阳极内壁面(30A)及阳极前端面(3D)边界从阳极中心轴(L)向径向远离而形成于圆周方向的环状角部(30C)，由上述三个构成的凹部从阳极前端面(3D)向着电极内方侧凹下形成，将表示电弧(AR)大小的指标设为D0，将凹部直径设为D1(mm)时，比值D1/D0满足0.25≤D1/D0≤1.2，表示电弧大小的指标D0由下述规定：D0＝1.4+2.5(P-1.6)0.5，P为灯功率(kW)。

主权项

一种短弧型放电灯，在发光管内相互相对地配置有阳极及阴极，在上述阳极与上述阴极之间施加电压而产生电弧，其特征为：上述阳极在阳极前端面的阳极中心轴上形成有凹部，上述凹部由比上述阳极前端面凹下并形成于圆周方向的阳极内壁面、与上述阳极内壁面接续形成并相对于阳极中心轴向径向扩展而平坦地形成的阳极内底面、以及从阳极中心轴向径向远离而在上述阳极前端面及上述阳极内壁面的边界形成于圆周方向的环状角部构成，由上述三个结构构成的凹部从上述阳极前端面向着电极的内方侧凹下而形成，将表示上述电弧的大小的指标设为D0，将上述凹部的直径设为D1(mm)时，比值D1/D0满足0.25≤D1/D0≤1.2，表示上述电弧的大小的指标D0由下述的式子规定：D0＝1.4+2.5(P‑1.6)0.5其中，P是灯功率(kW)。