发明名称 一种减少穿通时间的可控硅结构
摘要 本实用新型涉及一种减少穿通时间的可控硅结构,包括阴极区、P-短基区、长基区、台面槽和硼穿通扩散区,所述台面槽内覆有玻璃钝化层,所述硼穿通扩散区设于长基区的左右两侧,其特征是所述每个硼穿通扩散区的上下两角均开有穿通槽,所述穿通槽的深度为10-20μm。本实用新型为减少穿通时间,采用挖槽的形式对穿通环部分厚度进行减薄,形成穿通槽,使得实际需要穿通的厚度等于或小于230微米,使得穿通时间小于180小时,达到或低于常规稳定工艺条件。
申请公布号 CN201804873U 申请公布日期 2011.04.20
申请号 CN201020240872.2 申请日期 2010.06.28
申请人 启东吉莱电子有限公司 发明人 耿开远;周健;朱法扬
分类号 H01L29/74(2006.01)I;H01L29/10(2006.01)I 主分类号 H01L29/74(2006.01)I
代理机构 南京众联专利代理有限公司 32206 代理人 卢海洋
主权项 一种减少穿通时间的可控硅结构,包括阴极区、P 短基区、长基区、台面槽和硼穿通扩散区,所述台面槽内覆有玻璃钝化层,所述硼穿通扩散区设于长基区的左右两侧,其特征是所述每个硼穿通扩散区的上下两角均开有穿通槽,所述穿通槽的深度为10 20μm。
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