发明名称 |
一种减少穿通时间的可控硅结构 |
摘要 |
本实用新型涉及一种减少穿通时间的可控硅结构,包括阴极区、P-短基区、长基区、台面槽和硼穿通扩散区,所述台面槽内覆有玻璃钝化层,所述硼穿通扩散区设于长基区的左右两侧,其特征是所述每个硼穿通扩散区的上下两角均开有穿通槽,所述穿通槽的深度为10-20μm。本实用新型为减少穿通时间,采用挖槽的形式对穿通环部分厚度进行减薄,形成穿通槽,使得实际需要穿通的厚度等于或小于230微米,使得穿通时间小于180小时,达到或低于常规稳定工艺条件。 |
申请公布号 |
CN201804873U |
申请公布日期 |
2011.04.20 |
申请号 |
CN201020240872.2 |
申请日期 |
2010.06.28 |
申请人 |
启东吉莱电子有限公司 |
发明人 |
耿开远;周健;朱法扬 |
分类号 |
H01L29/74(2006.01)I;H01L29/10(2006.01)I |
主分类号 |
H01L29/74(2006.01)I |
代理机构 |
南京众联专利代理有限公司 32206 |
代理人 |
卢海洋 |
主权项 |
一种减少穿通时间的可控硅结构,包括阴极区、P 短基区、长基区、台面槽和硼穿通扩散区,所述台面槽内覆有玻璃钝化层,所述硼穿通扩散区设于长基区的左右两侧,其特征是所述每个硼穿通扩散区的上下两角均开有穿通槽,所述穿通槽的深度为10 20μm。 |
地址 |
226224 江苏省南通市启东市汇龙镇公园北路1261号 |