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经营范围
发明名称
PLASMAGENERATOR
摘要
申请公布号
AT504075(T)
申请公布日期
2011.04.15
申请号
AT20050710327T
申请日期
2005.02.17
申请人
FERROTEC CORPORATION;TAKIKAWA, HIROFUMI
发明人
TAKIKAWA, HIROFUMI;SHIINA, YUICHI
分类号
H01J37/32;C23C14/24;C23C14/32;H05H1/50
主分类号
H01J37/32
代理机构
代理人
主权项
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