| 发明名称 | 一种具有保湿功能的清洗设备 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开一种具有保湿功能的清洗设备，包括一设备主体以及位于设备主体上用于上料的上料台，所述上料台位置处设置有一保湿装置，所述保湿装置包括一位于上料台上部的喷淋装置。本实用新型保湿功能的清洗设备用于硅片清洗前对硅片的保湿。 | ||
| 申请公布号 | CN201791706U | 申请公布日期 | 2011.04.13 |
| 申请号 | CN201020277139.8 | 申请日期 | 2010.07.30 |
| 申请人 | 常州捷佳创精密机械有限公司 | 发明人 | 左国军 |
| 分类号 | B08B13/00(2006.01)I | 主分类号 | B08B13/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 深圳市康弘知识产权代理有限公司 44247 | 代理人 | 胡朝阳;孙洁敏 |
| 主权项 | 一种具有保湿功能的清洗设备，包括一设备主体以及位于设备主体上用于上料的上料台，其特征在于：所述上料台位置处设置有一保湿装置，所述保湿装置包括一位于上料台上部的喷淋装置。 | ||
| 地址 | 213100 江苏省常州市新北区机电工业园宝塔山路9号 | ||