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发明名称 DUAL DAMASCENE VIA FILLING COMPOSITION
摘要
申请公布号 EP2308081(A1) 申请公布日期 2011.04.13
申请号 EP20090785891 申请日期 2009.04.29
申请人 AZ ELECTRONIC MATERIALS USA CORP. 发明人 LIU, WEIHONG;LIN, GUANYANG;MULLEN, SALEM, K.;YIN, JIAN;NEISSER, MARK
分类号 H01L21/312;C08F220/32;C09D133/06;H01L21/768 主分类号 H01L21/312
代理机构 代理人
主权项
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