| 发明名称 | 氧化锌的金属有机化学气相沉积 | ||
| 摘要 | 本发明公开了金属有机化学气相沉积的方法，该方法包括：转换冷凝物质源以提供第一气体，所述源包括选自金、银和钾的至少一种元素。该方法进一步包括提供包括锌的第二气体和包括氧的第三气体，将第一气体、第二气体和第三气体输送到基板，并且在基板上形成p型氧化锌基半导体层。 | ||
| 申请公布号 | CN102016114A | 申请公布日期 | 2011.04.13 |
| 申请号 | CN200980114396.X | 申请日期 | 2009.04.09 |
| 申请人 | 路美兹有限公司 | 发明人 | 邦米·T·阿德克尔;乔纳森·皮尔斯 |
| 分类号 | C23C16/00(2006.01)I;C23C16/22(2006.01)I | 主分类号 | C23C16/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人 | 刘慧;杨青 |
| 主权项 | 金属有机化学气相沉积的方法，所述方法包括：转换冷凝物质源以提供第一气体，所述源包括选自金、银和钾的至少一种元素；提供包括锌的第二气体和包括氧的第三气体；将所述第一气体、所述第二气体和所述第三气体输送到基板；和在所述基板上形成p型氧化锌基半导体层。 | ||
| 地址 | 美国马萨诸塞州 | ||