用于制造具有离子刻蚀表面的工件的方法

摘要

用于工件的安装在圆盘传送带(19)上的行星齿轮架(22)被设置在真空室内。用于包括离子(CL)的云的源(24)被设置使得该云的中心轴线(ACL)与圆盘式传送带(19)的转动轴线(A20)相交。该云(CL)在行星轴线(A22)的移动路径(T)处具有离子密度曲线，在距离上述的中心轴线(ACL)至多是行星齿轮架(22)的直径的一半处，其下降到最大离子密度的50％。当行星齿轮架(22)上的工件被包括离子的云刻蚀时，刻蚀掉的材料基本上没有再沉积在邻近的行星齿轮架上，而是朝着真空室的壁喷射。

主权项

一种用于制造工件的方法，对所述工件的表面的至少一部分进行刻蚀包含由离子碰撞进行的刻蚀，该方法包括：设置一种圆盘传送带基座，其能够绕圆盘传送带轴线以传动的方式而转动；沿着所述的圆盘传送带基座的边缘并且在其上面设置至少两个行星齿轮架，每个能够围绕与所述圆盘传送带轴线相平行的行星轴线以传动的方式转动；产生一种包括离子的云、并且其具有，据认为在与所述圆盘传送带和所述行星轴线相垂直的截面平面内，一种位于最大离子密度的区域的中心处的中心轴线；引导所述的中心轴线以便于与所述的圆盘传送带轴线相交叉，据认为在所述的截面平面内实现；在每个所述的行星齿轮架上施用至少一个待刻蚀的工件，每个所述的行星齿轮架通过围绕其行星轴线旋转而定义了一种相对于该行星轴线的直径；据认为在所述的截面平面内，并且在所述行星轴线的移动路径的轨迹上，所述包括离子的云在距离所述的中心轴线至多等于所述直径的50％处具有下降到所述束的最大离子密度的50％的离子密度；围绕所述的各自的轴线转动所述圆盘式传送带基座和所述行星齿轮架；当移入和穿过所述云时刻蚀该工件。