光罩及其制造方法

摘要

一种光罩及其制造方法，包括下列步骤。首先提供一透明基板，此基板至少分为三区。在透明基板的第一区中形成一低穿透层。然后，在透明基板上形成一第一光阻层，暴露出透明基板的第二区。接着，在透明基板与第一光阻层上形成一第一穿透层。最后，移除第一光阻层，其中位于第一光阻层上的第一穿透层会同时被移除，而留下形成在透明基板的第二区内的第一穿透层，并暴露出透明基板的第三区。基于上述，本发明所提供的光罩的制造方法是使用剥离制程来完成穿透层的制作。

主权项

一种光罩的制造方法，其特征在于：包括如下步骤：提供一透明基板，其具有一第一区、一第二区以及一第三区；在该透明基板的该第一区中形成一低穿透层；在该透明基板上形成一第一光阻层，暴露出该透明基板的该第二与第三区；在该透明基板与该第一光阻层上形成一第一穿透层；移除该第一光阻层，其中位于该第一光阻层上的该第一穿透层会同时被移除，而留下形成在该透明基板的该第二与第三区内的该第一穿透层；在该透明基板上方形成一第二光阻层，覆盖住该低穿透层与位于该第二区内该第一穿透层，且暴露出位于该第三区内的该第一穿透层；在该第二光阻层上形成一第二穿透层，覆盖住被暴露出的该第一穿透层；移除该第二光阻层，其中位于该第二光阻层上的该第二穿透层会同时被移除，而留下形成在该第三区内的该第一穿透层上的该第二穿透层。