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一种光罩净化装置，包含：一光罩存放腔体，具有一用以导入一净化气体的进气孔；以及一操控单元，是连结该光罩存放腔体且相配合界定出一连通该进气孔的隔离空间，并能控制该隔离空间的体积产生扩缩变化。根据申请专利范围第1项所述之光罩净化装置，其中，该操控单元包括一密合地连接在该光罩存放腔体之一开放侧且相配合界定出该隔离空间的腔壁。根据申请专利范围第1项所述之光罩净化装置，其中，该操控单元包括一密合地并接在该光罩存放腔体之一开放侧且相配合界定出一腔室的腔壁，以及一能相对滑移地塞置在该腔壁中的活塞，该活塞将该腔室区隔成该隔离空间与一弹性空间。根据申请专利范围第2项所述之光罩净化装置，其中，该操控单元之腔壁为片状，且能凹凸变形地连接在该光罩存放腔体之开放侧。根据申请专利范围第2项所述之光罩净化装置，其中，该操控单元之腔壁为蛇管状，且能伸缩变形地并接在该光罩存放腔体之开放侧。根据申请专利范围第2项所述之光罩净化装置，其中，该操控单元之腔壁为套筒状，且能相对滑移地套接在该光罩存放腔体之开放侧。根据申请专利范围第3项所述之光罩净化装置，其中，该操控单元还包括一能相对移动地贯穿该腔壁之远离该光罩存放腔体之一封闭侧且其一端连接该活塞的连杆件，以及一枢接该连杆件之另一端的旋转动力件。根据申请专利范围第5项所述之光罩净化装置，其中，该操控单元还包括一其一端连接该腔壁之一封闭侧的连杆件，以及一枢接该连杆件之另一端的旋转动力件。根据申请专利范围第6项所述之光罩净化装置，其中，该操控单元之腔壁具有一连通该隔离空间的充气孔。根据申请专利范围第7项所述之光罩净化装置，其中，该操控单元之连杆件具有一能相对轴向移动地贯穿该腔壁之该封闭侧且其一端连接该活塞的轴移杆段，以及一其相反二端分别枢接该轴移杆段之另一端与该旋转动力件的摆动杆段。根据申请专利范围第8项所述之光罩净化装置，其中，该操控单元之连杆件具有一其一端连接该腔壁之封闭侧且能相对轴向移动的轴移杆段，以及一其相反二端分别枢接该轴移杆段之另一端与该旋转动力件的摆动杆段。根据申请专利范围第9项所述之光罩净化装置，其中，该操控单元还包括一设置在该光罩存放腔体与该腔壁之间的气密环。 |
