| 发明名称 | 一种基于MEMS技术的微液量计量装置 | ||
| 摘要 | 一种基于MEMS技术的微液量计量装置，所述微液量计量装置包括：气闭管道；MEMS微结构压力传感器，该传感器的P1管与大气相通，P2管与气闭管道连接，该传感器测出大气同气闭管道中气体的压力差并输出，利用该压力差可计算出被计量液体的体积ΔV。 | ||
| 申请公布号 | CN201787991U | 申请公布日期 | 2011.04.06 |
| 申请号 | CN200920160627.8 | 申请日期 | 2009.06.26 |
| 申请人 | 广州市怡文环境科技股份有限公司 | 发明人 | 肖巍;冯中宝;刘旭东;田海涛;徐剑飞;陈杰;刘宇兵 |
| 分类号 | G01F22/02(2006.01)I;G01N1/10(2006.01)I;B81B7/02(2006.01)I | 主分类号 | G01F22/02(2006.01)I |
| 代理机构 | 代理人 | ||
| 主权项 | 一种微液量计量装置，其特征在于，其中包括：气闭管道(25)；MEMS微结构压力传感器(21)，所述传感器的P1管(22)与大气相通，并且该传感器的P2管(23)通过橡胶管(24)与气闭管道(25)连接。 | ||
| 地址 | 510335 广东省广州市萝岗区广州科学城神舟路885号B栋3楼 | ||