| 发明名称 | 基板移载装置、基板处理装置、基板移载用臂、基板移载方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种基板移载装置、基板处理装置、基板移载用臂、基板移载方法，能够与晶片保持舟中的任意的保持板之间进行基板的交换，并使保持板的间距比现有技术更窄。基板移载装置(300)包括：以能够旋转和升降的方式构成的基台(310)；在基台上以能够进退的方式设置且具有用于装载并搬送基板的搬送叉部(322)的第一臂(320)；和在基台上以能够进退的方式设置且具有设置有能够起倒的基板举起机构(340)的举起叉部(332)的第二臂(330)。 | ||
| 申请公布号 | CN101361177B | 申请公布日期 | 2011.04.06 |
| 申请号 | CN200780001655.9 | 申请日期 | 2007.07.23 |
| 申请人 | 东京毅力科创株式会社 | 发明人 | 田村明威 |
| 分类号 | H01L21/677(2006.01)I;B65G49/07(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/677(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人 | 龙淳 |
| 主权项 | 一种基板移载装置，其用于向基板保持舟移载基板，该基板保持舟在上下方向上排列有用于保持所述基板的多个保持板，该基板移载装置的特征在于，包括：以能够旋转和升降的方式构成的基台；在所述基台上以能够进退的方式设置且具有用于装载并搬送所述基板的搬送叉部的第一臂；和在所述基台上以能够进退的方式设置且具有设置有能够起倒的基板举起机构的举起叉部的第二臂。 | ||
| 地址 | 日本国东京都 | ||