用于检查物体的设备和方法

摘要

一种用于检查物体的方法和检查系统，该系统包括：至少一个主光源，其后是适于使至少一个主光束指向被检查物体的一个区域的至少一个照明路径成像透镜；至少一个辅助光源，其后是适于使至少一个辅助光束指向该区域的至少一个准直元件和至少一个合聚元件；其中该至少一个主光束和至少一个辅助光束照亮该区域，使得该区域的成像部分内的每个点基本都在以基本均匀的强度为特征的大角度范围上被照亮；包括图像传感器、分束器路径和会聚路径成像透镜的会聚路径；其中分束器被放置在该区域和会聚路径成像透镜之间；并且其中至少一个准直元件限定了该至少一个主光束穿过其传播的中心孔。

主权项

一种检查系统，该系统包括：至少一个主光源，其后是适于使至少一个主光束指向被检查物体的一个区域的至少一个照明路径成像透镜；至少一个辅助光源，其后是适于使至少一个辅助光束指向该区域的至少一个准直元件和至少一个合聚元件；其中该至少一个主光束和至少一个辅助光束照亮该区域，使得该区域的成像部分内的每个点基本都在以基本均匀的强度为特征的大角度范围上被照亮；包括图像传感器、分束器路径和会聚路径成像透镜的会聚路径；其中分束器被放置在该区域和会聚路径成像透镜之间；并且其中至少一个准直元件限定了该至少一个主光束穿过其传播的中心孔。