热式湿度传感器

摘要

本发明提供一种高精度且机械性牢固的热式湿度传感器。本发明的热式湿度传感器的检测元件(1)，在硅或陶瓷等热传导率好的材料构成的平板基板上形成有隔膜(2)(桥梁结构部)，在该隔膜(2)上设有温度检测电阻体(4、5、6、7)和以包围该温度检测电阻体的方式配置的发热电阻体(3)。而且，基于温度检测电阻体(4、5、6、7)的输出检测湿度。由此，缩小从隔膜(2)向平板基板损失的热对湿度计测带来的误差。

主权项

一种热式湿度传感器，其特征在于，具有：温度传感器；发热体，其在相互对置的两个发热位置发热，并在该两个发热位置之间具备所述温度传感器；湿度检测机构，其基于所述温度传感器的输出检测湿度。