选择性射极结构的电极图形的对齐方法

摘要

一种选择性射极结构的电极图形的对齐方法，包括下列步骤：首先提供一基材，接着于基材上形成一障壁层，并图形化障壁层使部分基材暴露出而形成一电极图形区。然后，改变电极图形区的基材的表面特性，以形成一图形化可视标记。随后，移除障壁层。最后以图形化可视标记作为一对准标记。

主权项

一种选择性射极结构的电极图形的对齐方法，包括：提供一基材；于所述基材上形成一障壁层，并图形化所述障壁层使部分所述基材暴露出而形成一电极图形区；改变所述电极图形区的所述基材的表面特性，以形成一图形化可视标记；移除所述障壁层；以及以所述图形化可视标记作为一对准标记。