纳米级精度的表面熨压处理与微纳结构阵列加工平台

摘要

本实用新型涉及一种纳米级精度的表面熨压处理与微纳结构阵列加工平台。由支撑单元、驱动单元、预紧机构组成。所述支撑单元由支撑单元I与支撑单元II螺纹连接组成；所述驱动单元是将压电叠堆设置于工具座的矩形槽中，工具座的中部以柔性铰链传动；工具头置于工具头座前端的锥形槽中，碟簧置于支撑单元I与工具头之间。所述预紧机构由预紧螺钉与支撑单元II的螺纹相互配合构成。优点在于：降低工件的表面粗糙度、提高其表面质量，并达到表面强化的功能；同时利用不同直径的钢球或具有确定尖端形状的工具头对平面或回转表面进行断续的压入作用，还可实现特定形状微纳结构阵列的精密塑性加工。

主权项

一种纳米级精度的表面熨压处理与微纳结构阵列加工平台，包括支撑单元、驱动单元及预紧机构，其特征在于：所述支撑单元由包括支撑单元I(3)及支撑单元II(6)，该支撑单元I(3)与支撑单元II(6)螺纹连接；所述驱动单元包括工具头(1)、碟簧(2)、工具头座(4)及压电叠堆(5)，该压电叠堆(5)设置于工具头座(4)的矩形槽中，工具头座(4)的中部以柔性铰链传动；工具头(1)置于工具头座(4)前端的锥形槽中，碟簧(2)置于支撑单元I(3)与工具头(1)之间；所述预紧机构由预紧螺钉(7)与支撑单元II(6)的螺纹相互配合构成。