一种具有螺杆和罗茨转子的三轴复合干泵

摘要

本发明涉及一种真空泵，具体涉及一种具有螺杆和罗茨转子的三轴复合干泵。包括电机、主轴和从动轴，主轴通过轴端的齿轮啮合带动从动轴，两根从动轴平行且对称的装配在主轴两侧。主轴和两侧从动轴上均装配有螺杆转子和罗茨转子，每根轴上的螺杆转子和罗茨转子通过隔板隔开。本发明能在较宽的压力范围内有较大的抽速，而且较之于两轴的复合干泵抽速提高近一倍，同时具有良好的动平衡特性，可靠性和使用寿命都得到较大的提高。

主权项

一种具有螺杆和罗茨转子的三轴复合干泵, 包括电机、主轴和从动轴，主轴上装配有主动齿轮，与主动齿轮相啮合的从动齿轮装配在从动轴上，其特征在于从动轴为两根，平行且对称的装配在主轴两侧, 主轴和两侧从动轴上均装配有螺杆转子和罗茨转子，每根轴上的螺杆转子和罗茨转子通过隔板隔开。