发明名称 A METHOD TO MANUFACTURE AN OXIDE SPUTTER TARGET COMPRISING A FIRST AND SECOND PHASE
摘要
申请公布号 EP2294241(A1) 申请公布日期 2011.03.16
申请号 EP20090793942 申请日期 2009.07.07
申请人 BEKAERT ADVANCED COATINGS 发明人 DELRUE, HILDE;VAN HOLSBEKE, JOHNNY;CARVALHO, NUNO, JORGE, MARCOLINO;DE BOSSCHER, WILMERT
分类号 C23C14/34;C23C14/08 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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