位移驱动机构及曝光机

摘要

本实用新型公开了一种位移驱动机构及曝光机，该位移驱动机构包含下平台、上平台、水平位移驱动模组，其中上平台位于该下平台上方，水平位移驱动模组设置于该下平台并且与该上平台连接而能驱动该上平台相对于该下平台水平位移；升降驱动模组包括升降杆件及驱动单元，升降杆件能相对于该下平台升降活动地直立穿设于该下平台，且该上平台是能相对于该下平台水平位移地与该升降杆件顶端连接，驱动单元与该升降杆件动力连接而提供驱动该升降杆件带动该上平台相对于该下平台升降位移的动力。带有该位移驱动机构的曝光机，可降低Z轴升降驱动机构承载的重量，进而提升Z轴升降驱动机构的运作速度，从而提高产量。

主权项

一种位移驱动机构，其特征在于，包含下平台、上平台、水平位移驱动模组，其中上平台位于该下平台上方，水平位移驱动模组设置于该下平台并且与该上平台连接而能驱动该上平台相对于该下平台水平位移；升降驱动模组包括升降杆件及驱动单元，升降杆件能相对于该下平台升降活动地直立穿设于该下平台，且该上平台是能相对于该下平台水平位移地与该升降杆件顶端连接，驱动单元与该升降杆件动力连接而提供驱动该升降杆件带动该上平台相对于该下平台升降位移的动力。