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发明名称 VORRICHTUNG ZUM POSITIONIEREN UND/ODER ANPRESSEN EINES FLÄCHIGEN BAUTEILS RELATIV ZU EINEM SUBSTRAT UND VERFAHREN ZUM POSITIONIEREN EINES AUFNAHMEWERKZEUGS RELATIV ZU EINEM SUBSTRAT
摘要
申请公布号 AT499703(T) 申请公布日期 2011.03.15
申请号 AT20060819196T 申请日期 2006.10.31
申请人 KULICKE & SOFFA DIE BONDING GMBH 发明人 SCHUSTER, JOHANNES;EISENRING, STEFAN
分类号 H01L21/68;H01L21/00;H01L21/683 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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