| 摘要 |
Чувствительный элемент неохлаждаемого фотоприемника инфракрасного диапазона, состоящий из полупроводниковой подложки с жестко закрепленной на ней опорой мостиковой структуры, выполненной из диэлектрика, соединенной с фоточувствительным слоем, выполненным из материала, чувствительного к ИК излучению, соединенным с подложкой металлическими контактами и расположенным между двумя буферными слоями, выполненными из диэлектрика, микролинзы, жестко закрепленной на четырех опорах, выполненных из полупроводникового материала, представляющих собой мостиковую структуру, микрозеркала, выполненного из металла и расположенного под мостиковой структурой отличающийся тем, что микрозеркало закреплено на четырех элементах с эффектом памяти формы, расположенных с зазором относительно подложки. |
