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发明名称 DISSOLVED WAFER FABRICATION PROCESS AND ASSOCIATED MICROELECTROMECHANICAL DEVICE HAVING A SUPPORT SUBSTRATE WITH SPACING MESAS
摘要
申请公布号 EP1218289(B1) 申请公布日期 2011.03.09
申请号 EP19990969587 申请日期 1999.09.28
申请人 HONEYWELL INC. 发明人 MAXWELL, KEN, HAYS
分类号 B81C1/00;G01P9/04;B81B3/00;G01C19/56;H01L21/18;H01L29/84 主分类号 B81C1/00
代理机构 代理人
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