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经营范围
发明名称
ELECTRODE ARRANGEMENT WITH MOVABLE SHIELD
摘要
申请公布号
KR20110025163(A)
申请公布日期
2011.03.09
申请号
KR20107011957
申请日期
2007.11.08
申请人
APPLIED MATERIALS, INC.
发明人
STAHR FRANK;STEPHAN ULF;STEINKE OLAFF;SCHADE KLAUS
分类号
C23C16/50;H01J37/32
主分类号
C23C16/50
代理机构
代理人
主权项
地址
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