多晶单片铝酸镁尖晶石

摘要

本发明公开了一种多晶单片铝酸镁尖晶石。该多晶单片铝酸镁尖晶石粒径小并可以作为厚的一片沉积物沉积在衬底上。该多晶单片铝酸镁尖晶石可以通过化学气相淀积来制备和沉积。本发明还公开了由多晶单片铝酸镁尖晶石制作的制品。

主权项

一种制造包括多晶单片铝酸镁的制品的方法，所述方法包括：a)提供晶粒尺寸为70微米或更小且厚度至少为0.5mm的第一层多晶单片铝酸镁；b)在晶粒尺寸为70微米或更小且厚度至少为0.5mm的第一层多晶单片铝酸镁上沉积导电且选择钝化的图案；c)在与第一层多晶单片铝酸镁相对的导电且选择性钝化的图案上沉积晶粒尺寸为70微米或更小且厚度至少为0.5mm的第二层单片铝酸镁，以形成制品。