发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR FORMING NICKEL SILICIDE WITH LOW DEFECT DENSITY IN FET DEVICES
摘要
申请公布号 EP1946361(A4) 申请公布日期 2011.03.09
申请号 EP20060773615 申请日期 2006.06.20
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 WONG, KEITH, KWONG HON;PURTELL, ROBERT, JOSEPH
分类号 H01L21/4763;C23C14/34;H01L21/285 主分类号 H01L21/4763
代理机构 代理人
主权项
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