发明名称 带凹槽的液体感光性树脂凸版的制作方法
摘要 本发明公开了一种带凹槽的液体感光性树脂凸版的制作方法,包括以下步骤:在曝光机台上涂布树脂以形成树脂层、背曝光、主曝光以及洗版成型,其特征在于,在进行背曝光之前,在所述树脂层需要开设凹槽的位置处覆盖第一遮光板,在主曝光完成之后,取下所述第一遮光板,并对所述第一遮光板所覆盖区域采用第二遮光板进行至少一次补曝光。与现有技术相比较,由于本发明增加了补曝光工序,通过对补曝光时间的选择,可使液体版形成不同深度的凹槽,从而可在液体版上形成三层以上的厚度。
申请公布号 CN101393397B 申请公布日期 2011.03.09
申请号 CN200810217119.9 申请日期 2008.10.28
申请人 清溢精密光电(深圳)有限公司 发明人 贾伟喜
分类号 G03F7/09(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I 主分类号 G03F7/09(2006.01)I
代理机构 深圳中一专利商标事务所 44237 代理人 张全文
主权项 一种带凹槽的液体感光性树脂凸版的制作方法,包括以下步骤:在曝光机台上涂布树脂以形成树脂层、背曝光、主曝光以及洗版成型,其特征在于,在进行背曝光之前,在所述树脂层需要开设凹槽的位置处覆盖第一遮光板,在主曝光完成之后,取下所述第一遮光板,并对所述第一遮光板所覆盖区域采用第二遮光板进行至少一次补曝光。
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