| 发明名称 |
METHODS OF DEPOSITING RUTHENIUM FILM AND MEMORY MEDIUM READABLE BY COMPUTER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR20110023913(A) |
申请公布日期 |
2011.03.08 |
| 申请号 |
KR20117003537 |
申请日期 |
2007.02.27 |
| 申请人 |
TOKYO ELECTRON LIMITED |
发明人 |
KAWANO YUMIKO;YAMASAKI HIDEAKI;ARIMA SUSUMU |
| 分类号 |
H01L21/205;C23C16/18;C23C16/44;H01L21/285 |
主分类号 |
H01L21/205 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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