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发明名称 MICROCAVITY PLASMA DEVICES WITH NON-UNIFORM CROSS-SECTION MICROCAVITIES
摘要
申请公布号 EP2203940(A4) 申请公布日期 2011.03.02
申请号 EP20080841926 申请日期 2008.10.27
申请人 THE BOARD OF TRUSTEES OF THE UNIVERSITY OF ILLINOIS 发明人 EDEN, J., GARY;PARK, SUNG-JIN;SOO-KWANG , KIM;PRICE, ANDREW, J.
分类号 H01L29/10;C25D11/04;H01J17/49;H01L29/12 主分类号 H01L29/10
代理机构 代理人
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