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发明名称
摘要
申请公布号
JP4636575(B2)
申请公布日期
2011.02.23
申请号
JP20000504609
申请日期
1998.07.21
申请人
发明人
分类号
H01S5/323;H01L29/88;H01L33/04;H01L33/14;H01L33/30;H01S5/183;H01S5/20;H01S5/22
主分类号
H01S5/323
代理机构
代理人
主权项
地址
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