于激光操作中用于沟渠深度与宽度的实时控制点尺寸与切割速度的实时操纵

摘要

使用单遍的激光束以于材料上切割多个宽度的沟渠的系统及方法。第一系列的激光脉冲是使用第一点尺寸按第一切割速度切割该材料的一工作表面。于自第一沟渠宽度至第二沟渠宽度的一转变区域，第二系列的激光脉冲是随自第一切割速度至第二切割速度的逐渐改变而依序改变点尺寸。然后，第三系列的激光脉冲是使用第二点尺寸按第二切割速度继续切割该工作表面。该种方法提供于转变区域的提高的深度控制。一种系统于激光束路径使用一可选择性调整的光学构件，通过调整关于工作表面的一聚焦平面的位置以快速改变点尺寸。

主权项

一种使用单遍的激光束以于一材料上切割多个宽度的沟渠的方法，该种方法包含：于关于该材料的一工作表面之该激光束的第一切割速度上，使用第一系列的激光脉冲以切割该工作表面，于第一系列的各个激光脉冲具有于该工作表面的第一点尺寸；于一转变区域：自该转变区域的一开端的第一切割速度至该转变区域的一末端的第二切割速度的逐渐改变；及随着该切割速度逐渐改变，使用第二系列的激光脉冲以切割该工作表面，其中，第二系列的激光脉冲自该转变区域的开端的第一点尺寸至该转变区域的末端的第二点尺寸依序改变点尺寸；且于该激光束的第二切割速度，使用第三系列的激光脉冲以继续切割该工作表面，于第三系列的各个激光脉冲具有第二点尺寸。