具有光波导层的线路板及其制造方法

摘要

本发明公开了一种具有光波导层的线路板及其制造方法。首先，在基板上依序形成绝缘层、金属层以及光波导层。接着，移除部分光波导层，以形成多个V型沟槽。这些V型沟槽的深度大于光波导层的厚度。在形成这些V型沟槽之后，移除基板，以裸露出绝缘层。接着，形成介电层与导电层于绝缘层上，而介电层位于导电层与绝缘层之间。接着，形成多个盲孔，而这些盲孔局部暴露金属层，且各个这些盲孔位于一个这些V型沟槽的槽壁的上方。接着，移除这些盲孔所局部暴露的部分金属层，以局部暴露光波导层。接着，图案化导电层，以形成线路层。

主权项

一种具有光波导层的线路板的制造方法，包括：在基板上依序形成绝缘层、金属层以及光波导层；移除部分该光波导层，以形成多个V型沟槽，其中这些V型沟槽的深度大于该光波导层的厚度；在形成这些V型沟槽之后，移除该基板，以裸露出该绝缘层；形成第一介电层与第一导电层于该绝缘层上，其中该第一介电层位于该第一导电层与该绝缘层之间；形成多个盲孔，其中这些盲孔局部暴露该金属层，且各个这些盲孔位于一个这些V型沟槽的槽壁的上方；移除这些盲孔所局部暴露的部分金属层，以局部暴露该光波导层；以及图案化该第一导电层，以形成第一线路层。