发明名称 一种阳极氧化零件表面的清洗方法
摘要 本发明所述的阳极氧化零件表面的清洗方法,其核心是先用有机溶剂清洗零件表面;再用碱性溶液与酸性溶液不分顺序依次清洗零件表面;最后,用超声波清洗零件。达到去除零件表面的沉积物的目的。此方法是一种无破坏性的、简易的清洗阳极氧化表面的有效方法,它主要包括使用有机溶剂、碱性溶液、稀释的酸性溶液和超声清洗的方法去除阳极氧化处理表面的污染物,该方法不会使阳极氧化层剥落,如果有损伤也是极为微量的,不会导致零部件需要重新进行阳极氧化处理。
申请公布号 CN101152652B 申请公布日期 2011.02.16
申请号 CN200610113529.X 申请日期 2006.09.29
申请人 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 发明人 童翔
分类号 B08B3/08(2006.01)I;B08B3/12(2006.01)I;B08B7/04(2006.01)I;F26B5/00(2006.01)I;C11D7/50(2006.01)I;C11D7/08(2006.01)I;C11D7/18(2006.01)I 主分类号 B08B3/08(2006.01)I
代理机构 北京凯特来知识产权代理有限公司 11260 代理人 郑立明
主权项 一种阳极氧化零件表面的清洗方法,其特征在于,包括以下步骤:A、用有机溶剂清洗零件表面;B、用碱性溶液与酸性溶液不分顺序依次清洗零件表面;C、用超声波清洗零件;所述的酸性溶液为:HF∶HNO3∶H2O为0.1~2∶5∶50;所述的碱性溶液为:NH4OH∶H2O2∶H2O为0.5~3∶2∶5。
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